Боров трихлорид (BCl3)е неорганично съединение, често използвано в процесите на сухо ецване и химическо отлагане от пари (CVD) в производството на полупроводници. Той е безцветен газ със силна остра миризма при стайна температура и е чувствителен към влажен въздух, тъй като се хидролизира, за да произведе солна киселина и борна киселина.

Приложения на боров трихлорид

В полупроводниковата индустрия,Боров трихлоридИзползва се главно за сухо ецване на алуминий и като добавка за образуване на P-тип области върху силициеви пластини. Може да се използва и за ецване на материали като GaAs, Si, AlN и като източник на бор в определени специфични приложения. Освен това, борният трихлорид се използва широко в металообработването, стъкларската промишленост, химичния анализ и лабораторните изследвания.

Безопасност на боровия трихлорид

Боров трихлориде корозивен и токсичен и може да причини сериозни увреждания на очите и кожата. Хидролизира във влажен въздух, за да освободи токсичен газ хлороводород. Поради това е необходимо да се вземат подходящи мерки за безопасност при работа.Боров трихлорид, включително носене на защитно облекло, очила и дихателни предпазни средства, както и работа в добре проветрива среда.