Водороден хлориде безцветен газ с остра миризма. Водният му разтвор се нарича солна киселина, известна още като солна киселина. Водородният хлорид е много разтворим във вода. При 0 ° C, 1 обем вода може да се разтвори около 500 обема водороден хлорид.

Той има следните свойства и характеристики:

1. Висока чистота

Чистотата на електронната степенводороден хлориде много висок, обикновено на PPM или по -ниско ниво, за да се гарантира, че в процеса на производство на полупроводникови производствени не се въвеждат примеси.

2. Инертност

Това е химически инертен газ, който не реагира с много други вещества, което е много важно за предотвратяване на замърсяване на полупроводникови материали и оборудване.

3. Висока стабилност

Електронен класводороден хлоридКато цяло има стабилна химия, за да осигури надеждна обработка на полупроводници.

При обработката на полупроводници основните приложения на водороден хлорид с електронен клас включват:

1. Повърхностно почистване и подготовка

Като ефективен почистващ повърхност, електронен класводороден хлоридсе използва за отстраняване на оксиди и примеси от повърхността на субстрата, за да се гарантира качеството и чистотата на епитаксиалния слой или филм.

2. Епитаксиална помощ за растеж

Използва се като средство за лечение на повърхността в епитаксиалния процес, той помага за подобряване на качеството на епитаксиалния слой, подобряване на съпоставянето на решетката и намаляване на образуването на дефекти на решетката.

3. Предварителна обработка на субстрата

Преди подготовката на полупроводникови устройства, електронен класводороден хлоридможе да се използва за третиране на повърхността на субстрата, за да се образува стабилна основа за подобряване на адхезията между епитаксиалния слой и субстрата.

4. Помощно средство за отлагане

В процеса на отлагане на химически пари (CVD) или физическо отлагане на пари (PVD), електронен клас водороден хлорид може да се използва като среда за пренос на газова фаза, за да се участва в реакцията на отлагане на полупроводникови материали.

5. Трансферно средство за газова фаза

Като агент за трансфер на газ-фаза, в реакционната камера се въвеждат други газообразни прекурсори, за да помогнат за регулиране на скоростта на отлагане и равномерността на материала.

Тези характеристики правят електронен класводороден хлоридВажен обработващ агент в полупроводниковата технология, който оказва ключово влияние върху производителността и надеждността на крайното устройство.

В допълнение към употребата си при обработка на полупроводници, водородният хлорид с електронен клас може да намери разнообразни приложения в други области, включително: подготовка на материали с висока чистота, горивни клетки, растеж на полупроводникови материали, литография на фазата на парата, анализ на материалите, химични изследвания.

Като цяло, електронен класводороден хлориде универсален газ с висока чистота, който има широк спектър от приложения извън производството на полупроводници.