Хлороводороде безцветен газ с остра миризма. Водният му разтвор се нарича солна киселина, известна още като солна киселина. Хлороводородът е много разтворим във вода. При 0°C, 1 обем вода може да разтвори около 500 обема хлороводород.

Той притежава следните свойства и характеристики:

1. Висока чистота

Чистота на електронния класхлороводороде много високо, обикновено на ppm или по-ниско ниво, за да се гарантира, че в процеса на производство на полупроводници не се въвеждат примеси.

2. Инертност

Това е химически инертен газ, който не реагира с много други вещества, което е много важно за предотвратяване на замърсяване на полупроводникови материали и оборудване.

3. Висока стабилност

Електронен класхлороводородобикновено има стабилен химичен състав, за да се осигури надеждна обработка на полупроводници.

В обработката на полупроводници, основните приложения на хлороводорода с електронно качество включват:

1. Почистване и подготовка на повърхността

Като ефикасен почистващ препарат за повърхности, електронен класхлороводородсе използва за отстраняване на оксиди и примеси от повърхността на субстрата, за да се гарантира качеството и чистотата на епитаксиалния слой или филм.

2. Епитаксиално средство за растеж

Използван като агент за повърхностна обработка в епитаксиалния процес, той спомага за подобряване на качеството на епитаксиалния слой, подобряване на съвпадението на решетката и намаляване на образуването на дефекти в решетката.

3. Предварителна обработка на основата

Преди подготовката на полупроводникови устройства, електронен класхлороводородможе да се използва за обработка на повърхността на субстрата, за да се образува стабилна основа за подобряване на адхезията между епитаксиалния слой и субстрата.

4. Спомагателен агент за отлагане

В процеса на химическо отлагане от пари (CVD) или физическо отлагане от пари (PVD), хлороводородът с електронен клас може да се използва като газофазна преносна среда за участие в реакцията на отлагане на полупроводникови материали.

5. Агент за пренос в газова фаза

Като агент за пренос в газова фаза, в реакционната камера се въвеждат други газообразни прекурсори, които спомагат за регулиране на скоростта на отлагане и еднородността на материала.

Тези характеристики правят електронния класхлороводородважен обработващ агент в полупроводниковите технологии, който има ключово влияние върху производителността и надеждността на крайното устройство.

В допълнение към употребата си в обработката на полупроводници, хлороводородът за електроника може да намери разнообразни приложения в други области, включително: Приготвяне на материали с висока чистота, Горивни клетки, Растеж на полупроводникови материали, Газова литография, Анализ на материали, Химични изследвания.

Като цяло, електронен класхлороводороде универсален газ с висока чистота, който има широк спектър от приложения извън производството на полупроводници.