Въглероден тетрафлуорид (CF4)

Технически параметри

Въглеродният тетрафлуорид е халогениран въглеводород с химична формула CF4. Може да се разглежда като халогениран въглеводород, халогениран метан, перфлуоровъглерод или като неорганично съединение. Въглеродният тетрафлуорид е безцветен и без мирис газ, неразтворим във вода, разтворим в бензен и хлороформ. Стабилен при нормална температура и налягане, избягвайте силни окислители, запалими или горими материали. Незапалим газ, вътрешното налягане в контейнера ще се увеличи, когато е изложен на висока температура, и съществува опасност от напукване и експлозия. Той е химически стабилен и незапалим. Само течен амонячно-натриев метален реагент може да работи при стайна температура. Въглеродният тетрафлуорид е газ, който причинява парников ефект. Той е много стабилен, може да остане в атмосферата дълго време и е много мощен парников газ. Въглеродният тетрафлуорид се използва в процеса на плазмено ецване на различни интегрални схеми. Използва се и като лазерен газ и се използва в нискотемпературни хладилни агенти, разтворители, смазочни материали, изолационни материали и охлаждащи течности за инфрачервени детектори. Той е най-използваният плазмен ецващ газ в микроелектронната индустрия. Това е смес от тетрафлуорометан с висока чистота и тетрафлуорометан с висока чистота и кислород с висока чистота. Може да се използва широко в силиций, силициев диоксид, силициев нитрид и фосфосиликатно стъкло. Ецването на тънкослойни материали като волфрам и волфрам също се използва широко при почистване на повърхности на електронни устройства, производство на слънчеви клетки, лазерна технология, нискотемпературно охлаждане, проверка на течове и детергент в производството на печатни платки. Използва се като нискотемпературен хладилен агент и технология за плазмено сухо ецване за интегрални схеми. Предпазни мерки за съхранение: Съхранявайте на хладно и проветриво място, където не се съхраняват горими газове. Пазете от източници на огън и топлина. Температурата на съхранение не трябва да надвишава 30°C. Трябва да се съхранява отделно от лесно (запалими) горими вещества и окислители и да се избягва смесено съхранение. Складовата зона трябва да бъде оборудвана с оборудване за аварийно третиране на течове.

Приложение:

① Хладилен агент:

Тетрафлуорометанът понякога се използва като нискотемпературен хладилен агент.

② Гравиране:

Използва се в микропроизводството на електроника самостоятелно или в комбинация с кислород като плазмен ецващ агент за силиций, силициев диоксид и силициев нитрид.

Нормален пакет:

Предимство:

①Висока чистота, най-ново съоръжение;

②Производител със сертификат ISO;

③Бърза доставка;

④Система за онлайн анализ за контрол на качеството на всяка стъпка;

⑤Високи изисквания и щателен процес за обработка на бутилката преди пълнене;