Въглероден тетрафлуорид (CF4)

Технически параметри

Въглеродният тетрафлуорид е халогениран въглеводород с химична формула CF4.Може да се разглежда като халогениран въглеводород, халогениран метан, перфлуоровъглерод или като неорганично съединение.Въглеродният тетрафлуорид е газ без цвят и мирис, неразтворим във вода, разтворим в бензол и хлороформ.Стабилен при нормална температура и налягане, избягвайте силни оксиданти, запалими или горими материали.Негорим газ, вътрешното налягане на контейнера ще се увеличи, когато е изложено на висока топлина и има опасност от напукване и експлозия.Той е химически стабилен и незапалим.Само течен амоняк-натриев метален реагент може да работи при стайна температура.Въглеродният тетрафлуорид е газ, който предизвиква парниковия ефект.Той е много стабилен, може да остане в атмосферата дълго време и е много мощен парников газ.Въглеродният тетрафлуорид се използва в процеса на плазмено ецване на различни интегрални схеми.Използва се и като лазерен газ и се използва в нискотемпературни хладилни агенти, разтворители, смазочни материали, изолационни материали и охлаждащи течности за инфрачервени детектори.Това е най-използваният газ за плазмено ецване в индустрията на микроелектрониката.Това е смес от тетрафлуорометан газ с висока чистота и тетрафлуорометан газ с висока чистота и кислород с висока чистота.Може да се използва широко в силиций, силициев диоксид, силициев нитрид и фосфосиликатно стъкло.Гравирането на тънкослойни материали като волфрам и волфрам също се използва широко при повърхностно почистване на електронни устройства, производство на слънчеви клетки, лазерна технология, нискотемпературно охлаждане, проверка на течове и детергент в производството на печатни платки.Използва се като нискотемпературен хладилен агент и технология за плазмено сухо ецване за интегрални схеми.Предпазни мерки при съхранение: Да се ​​съхранява на хладно, проветриво складово помещение за незапалим газ.Пазете от огън и източници на топлина.Температурата на съхранение не трябва да надвишава 30°C.Трябва да се съхранява отделно от лесно (запалими) горими вещества и окислители и да се избягва смесеното съхранение.Мястото за съхранение трябва да бъде оборудвано с оборудване за спешно лечение на течове.

Приложение:

① Хладилен агент:

Тетрафлуорометанът понякога се използва като нискотемпературен хладилен агент.

② Офорт:

Използва се в микропроизводството на електроника самостоятелно или в комбинация с кислород като плазмено ецващо средство за силиций, силициев диоксид и силициев нитрид.

Нормален пакет:

Предимство:

①Висока чистота, най-новото съоръжение;

②производител на ISO сертификат;

③Бърза доставка;

④Онлайн система за анализ за контрол на качеството във всяка стъпка;

⑤Високи изисквания и щателен процес за обработка на цилиндъра преди пълнене;