Лазерният газ се използва главно за лазерно отгряване и газ за литография в електронната индустрия.Възползвайки се от иновациите на екраните на мобилни телефони и разширяването на областите на приложение, мащабът на пазара на нискотемпературен полисилиций ще бъде допълнително разширен, а процесът на лазерно отгряване значително подобри производителността на TFT.Сред газовете неон, флуор и аргон, използвани в ексимерния лазер ArF за производство на полупроводници, неонът представлява повече от 96% от лазерната газова смес.С усъвършенстването на полупроводниковата технология се увеличи използването на ексимерни лазери и въвеждането на технологията за двойна експозиция доведе до рязко увеличаване на търсенето на неонов газ, консумиран от ArF ексимерни лазери.Възползвайки се от насърчаването на локализирането на електронни специални газове, местните производители ще имат по-добро пространство за пазарен растеж в бъдеще.
Литографската машина е основното оборудване за производството на полупроводници.Литографията определя размера на транзисторите.Координираното развитие на веригата на литографската индустрия е ключът към пробива на литографската машина.Съответстващите полупроводникови материали като фоторезист, газ за фотолитография, фотомаска и оборудване за нанасяне на покритие и проявяване имат високо технологично съдържание.Литографският газ е газът, който литографската машина генерира дълбок ултравиолетов лазер.Различните литографски газове могат да произвеждат източници на светлина с различни дължини на вълната и тяхната дължина на вълната пряко влияе върху разделителната способност на литографската машина, която е едно от ядрата на литографската машина.През 2020 г. общите глобални продажби на литографски машини ще бъдат 413 единици, от които продажбите на ASML 258 единици представляват 62%, продажбите на Canon 122 единици представляват 30%, а продажбите на Nikon 33 единици представляват 8%.
Време на публикуване: 15 октомври 2021 г
