През 2018 г. световният пазар на електронни газове за интегрални схеми достигна 4,512 милиарда щатски долара, което е увеличение с 16% на годишна база. Високият темп на растеж на индустрията за електронни специални газове за полупроводници и огромният размер на пазара ускориха плана за заместване на вътрешния пазар със електронни специални газове!
Какво е електронен газ?
Електронният газ се отнася до основния изходен материал, използван в производството на полупроводници, плоски дисплеи, светодиоди, слънчеви клетки и други електронни продукти, и се използва широко в процеси на почистване, ецване, образуване на филми, легиране и други. Основните области на приложение на електронния газ включват електронната промишленост, слънчевите клетки, мобилните комуникации, автомобилната навигация и автомобилните аудио и видео системи, аерокосмическата, военната промишленост и много други области.
Специалните газове за електроника могат да бъдат разделени на седем категории според техния химичен състав: силиций, арсен, фосфор, бор, метален хидрид, халид и метален алкоксид. Според различните методи на приложение в интегрални схеми, те могат да бъдат разделени на легиращ газ, епитаксиален газ, газ за йонно имплантиране, газ за светодиоди, газ за ецване, газ за химическо отлагане на пари и балансиращ газ. В полупроводниковата индустрия се използват над 110 вида специални газове, от които над 30 са най-често използвани.
Обикновено, индустрията за производство на полупроводници разделя газовете на два вида: обикновени газове и специални газове. Сред тях, често използваният газ се отнася до централизирано снабдяване и използва много газ, като N2, H2, O2, Ar, He и др. Специалният газ се отнася до някои химически газове, използвани в процеса на производство на полупроводници, като например удължаване, йонно инжектиране, смесване, промиване и образуване на маска, което сега наричаме електронен специален газ, като например високочист SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 и др.
В целия производствен процес на полупроводниковата индустрия, от производството на чипове до крайното опаковане на устройството, почти всяка връзка е неразделна част от специалния електронен газ, както и от разнообразието на използвания газ и високите изисквания за качество, така че електронният газ е полупроводников материал. „Храна“.
През последните години производственият капацитет на основните електронни компоненти в Китай, като полупроводници и дисплеи, се е увеличил, а търсенето на заместване на вноса на електронни химични материали е силно. Позицията на електронните газове в полупроводниковата индустрия става все по-значима. Вътрешната индустрия за електронни газове ще доведе до бърз растеж.
Специалният електронен газ има много високи изисквания за чистота, тъй като ако чистотата не отговаря на изискванията, примесните групи като водна пара и кислород в електронния специален газ лесно ще образуват оксиден филм върху повърхността на полупроводника, което влияе върху експлоатационния живот на електронните устройства, а съдържащите се в електронния специален газ примесни частици могат да причинят късо съединение на полупроводниците и повреди в веригите. Може да се каже, че подобряването на чистотата играе жизненоважна роля в добива и производителността на производството на електронни устройства.
С непрекъснатото развитие на полупроводниковата индустрия, процесът на производство на чипове продължава да се подобрява и сега е достигнал 5nm, което е на път да се доближи до границата на закона на Мур, еквивалентна на една двадесета от диаметъра на човешки косъм (около 0,1 mm). Следователно, това поставя и по-високи изисквания към чистотата на електронния специален газ, произвеждан от полупроводници.
Време на публикуване: 15 декември 2021 г.
