През 2018 г. глобалният пазар на електронен газ за интегрални схеми достигна 4,512 милиарда щатски долара, което е увеличение от 16% на годишна база.Високият темп на растеж на индустрията за електронен специален газ за полупроводници и огромният размер на пазара ускориха вътрешния план за заместване на електронния специален газ!
Какво е електронен газ?
Електронният газ се отнася до основния изходен материал, използван в производството на полупроводници, дисплеи с плосък панел, светодиоди, слънчеви клетки и други електронни продукти и се използва широко при почистване, ецване, образуване на филми, легиране и други процеси.Основните области на приложение на електронния газ включват електронната индустрия, слънчеви клетки, мобилни комуникации, автомобилни навигации и автомобилни аудио и видео системи, космическата индустрия, военната индустрия и много други области.
Електронният специален газ може да бъде разделен на седем категории според собствения си химически състав: силиций, арсен, фосфор, бор, метален хидрид, халогенид и метален алкоксид.Според различните методи на приложение в интегралните схеми, той може да бъде разделен на газ за допинг, газ за епитаксия, газ за имплантиране на йони, газ за излъчващи светлина диоди, газ за ецване, газ за химическо отлагане на пари и балансиращ газ.Има повече от 110 единици специални газове, използвани в полупроводниковата индустрия, от които повече от 30 са широко използвани.
Като цяло индустрията за производство на полупроводници разделя газовете на два типа: обикновени газове и специални газове.Сред тях често използваният газ се отнася до централизирано захранване и използва много газ, като N2, H2, O2, Ar, He и др. Специалният газ се отнася до някои химически газове, използвани в процеса на производство на полупроводници, като напр. удължаване, йонно инжектиране, смесване, измиване и образуване на маска, което сега наричаме електронен специален газ, като високочист SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 и др.
В целия производствен процес на полупроводниковата индустрия, от растежа на чипа до окончателното опаковане на устройството, почти всяка връзка е неделима от специалния електронен газ, разнообразието от използвани газове и високите изисквания за качество, така че електронният газ има полупроводникови материали."Храна".
През последните години основните електронни компоненти в Китай, като полупроводници и дисплеи, увеличиха новия производствен капацитет и има силно търсене на заместване на вноса на електронни химически материали.Позицията на електронните газове в полупроводниковата индустрия става все по-видна.Вътрешната електронна газова индустрия ще доведе до бърз растеж.
Електронният специален газ има много високи изисквания за чистота, тъй като ако чистотата не отговаря на изискванията, групите примеси като водна пара и кислород в електронния специален газ лесно ще образуват оксиден филм върху повърхността на полупроводника, което засяга експлоатационния живот на електронните устройства и електронният специален газ съдържа Частиците от примеси могат да причинят късо съединение на полупроводника и повреда на веригата.Може да се каже, че подобряването на чистотата играе жизненоважна роля за добива и производителността на производството на електронни устройства.
С непрекъснатото развитие на полупроводниковата индустрия процесът на производство на чипове продължава да се подобрява и сега е достигнал 5nm, което е на път да се доближи до границата на закона на Мур, което е еквивалентно на една двадесета от диаметъра на човешки косъм ( около 0,1 мм).Следователно, това поставя и по-високи изисквания към чистотата на електронния специален газ, произведен от полупроводници.
Време на публикуване: 15 декември 2021 г
