ЕлектроненСпециални газовеса важен клон на специални газове. Те проникват почти във всяка връзка на производството на полупроводници и са незаменими суровини за производството на електронни индустрии като ултра-големи интегрални вериги, устройства с плосък панел и слънчеви клетки.

В полупроводниковата технология се използват широко флуорни газове. Понастоящем на глобалния пазар на електронен газ флуорът, съдържащи електронни газове, представляват около 30% от общия брой. Електронните газове, съдържащи флуор, са важен компонент на специални електронни газове в областта на електронните информационни материали. Те се използват главно като почистващи агенти и ецващи агенти и могат да се използват и като допанти, материали за формиране на филми и др. В тази статия авторът ще ви отведе, за да разберете общите газове, съдържащи флуор.

Следните обикновено се използват газове, съдържащи флуор

Азотен трифлуорид (NF3): Газ, използван за почистване и отстраняване на отлагания, обикновено се използва за почистване на реакционни камери и повърхности на оборудване.

Сярна хексафлуорид (SF6): Флуориращ агент, използван в процесите на отлагане на оксид и като изолационен газ за пълнене на изолационни среди.

Водороден флуорид (HF): Използва се за отстраняване на оксиди от силиконовата повърхност и като офорт за ецване на силиций и други материали.

Азотен флуорид (NF): Използва се за офорт материали като силициев нитрид (SIN) и алуминиев нитрид (ALN).

Трифлуорометан (CHF3) итетрафлуорометан (cf4): Използва се за ецване на флуоридни материали като силициев флуорид и алуминиев флуорид.

Въпреки това газовете, съдържащи флуор, имат определени опасности, включително токсичност, корозивност и запалимост.

Токсичност

Някои флуор-съдържащи газове са токсични, като водороден флуорид (HF), чиито пари са силно дразнещи за кожата и дихателните пътища и вредни за човешкото здраве.

Корозивност

Водородният флуорид и някои флуориди са силно корозивни и могат да причинят сериозно увреждане на кожата, очите и дихателните пътища.

Запалимост

Някои флуориди са запалими и реагират с кислород или вода във въздуха, за да се освободи интензивна топлина и токсични газове, които могат да причинят пожар или експлозия.

Опасност от високо налягане

Някои флуорирани газове са експлозивни при високо налягане и изискват специални грижи, когато се използват и съхраняват.

Въздействие върху околната среда

Флуориновите газове имат висок атмосферен живот и стойности на GWP, които имат разрушителен ефект върху атмосферния озонов слой и могат да причинят глобално затопляне и замърсяване на околната среда.

Прилагането на газове в нововъзникващи полета като електроника продължава да се задълбочава, което носи голямо количество ново търсене на промишлени газове. Въз основа на голямото количество нов производствен капацитет на основните електронни компоненти като полупроводници и дисплеи в континентален Китай през следващите няколко години, както и силното търсене на заместване на вноса на електронни химически материали, вътрешната електронна газова промишленост ще доведе до висок темп на растеж.