Електронниспециални газовеса важен отрасъл на специалните газове. Те проникват в почти всяко звено на полупроводниковото производство и са незаменими суровини за производството на електронни индустрии, като например ултрамащабни интегрални схеми, плоски дисплеи и слънчеви клетки.

В полупроводниковата технология флуорсъдържащите газове се използват широко. В момента на световния пазар на електронни газове, флуорсъдържащите електронни газове представляват около 30% от общото количество. Флуорсъдържащите електронни газове са важен компонент на специалните електронни газове в областта на електронните информационни материали. Те се използват главно като почистващи агенти и ецващи агенти, а също така могат да се използват като добавки, филмообразуващи материали и др. В тази статия авторът ще ви запознае с често срещаните флуорсъдържащи газове.

Следните са често използвани флуорсъдържащи газове

Азотен трифлуорид (NF3): Газ, използван за почистване и отстраняване на отлагания, обикновено използван за почистване на реакционни камери и повърхности на оборудване.

Серен хексафлуорид (SF6)Флуориращ агент, използван в процесите на отлагане на оксиди и като изолационен газ за запълване на изолационни среди.

Флуороводород (HF): Използва се за отстраняване на оксиди от силициевата повърхност и като ецващо средство за ецване на силиций и други материали.

Азотен флуорид (NF): Използва се за ецване на материали като силициев нитрид (SiN) и алуминиев нитрид (AlN).

Трифлуорометан (CHF3) итетрафлуорометан (CF4)Използва се за ецване на флуоридни материали като силициев флуорид и алуминиев флуорид.

Въпреки това, флуорсъдържащите газове носят определени опасности, включително токсичност, корозивност и запалимост.

Токсичност

Някои флуорсъдържащи газове са токсични, като например флуороводородът (HF), чиито пари са силно дразнещи за кожата и дихателните пътища и вредни за човешкото здраве.

Корозивност

Флуороводородът и някои флуориди са силно корозивни и могат да причинят сериозни увреждания на кожата, очите и дихателните пътища.

Запалимост

Някои флуориди са запалими и реагират с кислород или вода във въздуха, отделяйки интензивна топлина и токсични газове, които могат да причинят пожар или експлозия.

Опасност от високо налягане

Някои флуорирани газове са експлозивни под високо налягане и изискват специални грижи при употреба и съхранение.

Въздействие върху околната среда

Флуорсъдържащите газове имат висок атмосферен живот и стойности на GWP, което има разрушителен ефект върху озоновия слой на атмосферата и може да причини глобално затопляне и замърсяване на околната среда.

Приложението на газове в развиващи се области като електрониката продължава да се задълбочава, което води до голямо ново търсене на промишлени газове. Въз основа на големия обем нов производствен капацитет на основни електронни компоненти като полупроводници и дисплеи в континентален Китай през следващите няколко години, както и на силното търсене на заместване на вноса на електронни химични материали, местната индустрия за електронни газове ще отбележи висок темп на растеж.