Електроненспециални газовеса важен клон на специалните газове. Те проникват в почти всяко звено от производството на полупроводници и са незаменими суровини за производството на електронни индустрии като ултра-големи интегрални схеми, устройства с плосък дисплей и слънчеви клетки.

В полупроводниковата технология широко се използват флуорсъдържащи газове. Понастоящем на глобалния пазар на електронен газ флуорсъдържащите електронни газове представляват около 30% от общия брой. Флуорсъдържащите електронни газове са важен компонент на специални електронни газове в областта на електронните информационни материали. Те се използват главно като почистващи агенти и ецващи агенти, а също така могат да се използват като добавки, филмообразуващи материали и т.н. В тази статия авторът ще ви насочи към разбиране на обикновените флуорсъдържащи газове.

Следните са често използвани газове, съдържащи флуор

Азотен трифлуорид (NF3): газ, използван за почистване и отстраняване на отлагания, обикновено използван за почистване на реакционни камери и повърхности на оборудването.

Серен хексафлуорид (SF6): Флуориращ агент, използван в процеси на отлагане на оксиди и като изолационен газ за пълнене на изолационни среди.

Флуороводород (HF): Използва се за отстраняване на оксиди от силициевата повърхност и като ецващ препарат за ецване на силиций и други материали.

Азотен флуорид (NF): Използва се за ецване на материали като силициев нитрид (SiN) и алуминиев нитрид (AlN).

Трифлуорометан (CHF3) итетрафлуорометан (CF4): Използва се за ецване на флуоридни материали като силициев флуорид и алуминиев флуорид.

Съдържащите флуор газове обаче крият определени опасности, включително токсичност, корозивност и запалимост.

Токсичност

Някои флуорсъдържащи газове са токсични, като флуороводорода (HF), чиито пари са силно дразнещи за кожата и дихателните пътища и вредни за човешкото здраве.

Корозивност

Флуороводородът и някои флуориди са силно корозивни и могат да причинят сериозни увреждания на кожата, очите и дихателните пътища.

Запалимост

Някои флуориди са запалими и реагират с кислорода или водата във въздуха, за да отделят силна топлина и токсични газове, които могат да причинят пожар или експлозия.

Опасност от високо налягане

Някои флуорирани газове са експлозивни при високо налягане и изискват специално внимание при използване и съхранение.

Въздействие върху околната среда

Флуорсъдържащите газове имат висок живот в атмосферата и стойности на GWP, които имат разрушителен ефект върху атмосферния озонов слой и могат да причинят глобално затопляне и замърсяване на околната среда.

Приложението на газовете в нововъзникващи области като електрониката продължава да се задълбочава, което води до голямо количество ново търсене на индустриални газове. Въз основа на голямото количество нов производствен капацитет на основни електронни компоненти като полупроводници и дисплеи в континентален Китай през следващите няколко години, както и силното търсене на заместващ внос на електронни химически материали, вътрешната електронна газова индустрия ще започне висок темп на растеж.