Какво е въглероден тетрафлуорид? Каква е ползата?

Какво евъглероден тетрафлуорид? Каква е ползата?

Въглероден тетрафлуорид, известен също като тетрафлуорометан, се счита за неорганично съединение. Използва се в процеса на плазмено ецване на различни интегрални схеми, а също така се използва като лазерен газ и хладилен агент. Той е относително стабилен при нормална температура и налягане, но е необходимо да се избягва контакт със силни оксиданти, запалими или горими материали. Тетрафлуоридът е незапалим газ. Ако се сблъска с висока температура, това ще доведе до увеличаване на вътрешното налягане на контейнера и има опасност от напукване и експлозия. Обикновено той може да взаимодейства само с течен метален реагент амоняк-натрий при стайна температура.

Въглероден тетрафлуоридв момента е най-големият газ за плазмено ецване, използван в микроелектронната индустрия. Може да се използва широко при ецване на силиций, силициев диоксид, фосфорносиликатно стъкло и други тънкослойни материали, почистване на повърхността на електронни устройства, производство на слънчеви клетки, лазерна технология, изолация на газова фаза, нискотемпературно охлаждане, агенти за откриване на течове, и детергентите в производството на печатни платки имат голям брой приложения.