Компонент | 99,9999% | Единица |
Кислород (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Азот | ≤0,1 | ppmV |
Водород | ≤20 | ppmV |
Хелий | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
ТХК | ≤0,1 | ppmV |
Хлорсилани | ≤0,1 | ppmV |
Дисилоксан | ≤0,1 | ppmV |
Дисилан | ≤0,1 | ppmV |
Влага (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Силанът е съединение на силиций и водород. Това е общ термин за серия от съединения, включително моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) и някои по-високо ниво силициево-водородни съединения. Сред тях моносиланът е най-разпространеният, понякога наричан съкратено силан. Силанът е безцветен газ с отвратителна миризма на чесън. Разтворим във вода, почти неразтворим в етанол, етер, бензен, хлороформ, силициев хлороформ и силициев тетрахлорид. Химичните свойства на силаните са много по-активни от тези на алканите и лесно се окисляват. Спонтанно запалване може да възникне при контакт с въздух. Не реагира с азот под 25°C и не реагира с въглеводородни съединения при стайна температура. Пожарът и експлозията на силана са резултат от реакция с кислород. Силанът е изключително чувствителен към кислород и въздух. Силанът с определена концентрация също ще реагира експлозивно с кислород при температура от -180°C. Силанът се е превърнал в най-важния специален газ, използван в процесите на полупроводникова микроелектроника, и се използва за получаването на различни микроелектронни филми, включително монокристални филми, микрокристални, поликристални, силициев оксид, силициев нитрид и метални силициди. Микроелектронните приложения на силана все още се развиват задълбочено: нискотемпературна епитаксия, селективна епитаксия и хетероепитаксиална епитаксия. Не само за силициеви устройства и силициеви интегрални схеми, но и за съставни полупроводникови устройства (галиев арсенид, силициев карбид и др.). Той също така има приложения при получаването на свръхрешетъчни квантови материали. Може да се каже, че силанът се използва в почти всички съвременни производствени линии за интегрални схеми в днешно време. Приложението на силана като силиций-съдържащ филм и покритие се е разширило от традиционната микроелектронна индустрия до различни области като стомана, машиностроене, химикали и оптика. Друго потенциално приложение на силана е производството на високоефективни керамични части за двигатели, особено използването на силан за производство на силицидна (Si3N4, SiC и др.) микропрахова технология привлича все повече внимание.
①Електронен:
Силанът се нанася върху поликристални силициеви слоеве върху силициеви пластини при производството на полупроводници и уплътнители.
②Слънчева енергия:
Силанът се използва в производството на слънчеви фотоволтаични модули.
③Индустриален:
Използва се в енергоспестяващо зелено стъкло и се прилага за процес на тънкослойно отлагане от пари.
Продукт | Течен силан SiH4 | |
Размер на опаковката | 47-литров цилиндър | Y-440L |
Нетно тегло на пълнежа/цилиндър | 10 кг | 125 кг |
Количество, заредено в 20-футов контейнер | 250 цилиндъра | 8 цилиндъра |
Общо нетно тегло | 2,5 тона | 1 тон |
Тегло на тарата на цилиндъра | 52 кг | 680 кг |
Клапан | CGA632/DISS632 |
①Повече от десет години на пазара;
②Производител със сертификат ISO;
③Бърза доставка;
④Стабилен източник на суровини;
⑤Система за онлайн анализ за контрол на качеството на всяка стъпка;
⑥Високи изисквания и щателен процес за обработка на бутилката преди пълнене;
⑦Чистота: висока чистота, електронен клас;
⑧Употреба: материали за слънчеви клетки; производство на високочист полисилиций, силициев оксид и оптични влакна; производство на цветно стъкло.